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사용신청현황

  • 1
  • 2017-09-24 ~ 2017-09-30
  • 2
날짜 17-09-24 17-09-25 17-09-26 17-09-27 17-09-28 17-09-29 17-09-30
보급형 실습용 SEM (SEM) 17-09-2509:00~10:00장수연
알파스텝
UV-Visible spectroscopy
전극용 진공증착기 (E-beam 2)
Raman Spectroscopy
X선회절분석기 (XRD)
Magnetron Sputter
Spin Coater
전자빔 진공증착시스템 (E-beam 1)
GaN 유기금속화학증착시스템(MOCVD)
질화물 식각장치 (ICP-RIE)
플라즈마화학기상증착시스템(PECVD)
Thermal Evaporator 1 (2F)
ALD (원자층 증착장비)
산화물 전용 스퍼터 (Oxide Sputtering System)
Thermal Evaporator 2 (B1 clean room)
Solar simulator