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사용신청현황

  • 1
  • 2017-09-10 ~ 2017-09-16
  • 2
날짜 17-09-10 17-09-11 17-09-12 17-09-13 17-09-14 17-09-15 17-09-16
보급형 실습용 SEM (SEM)
알파스텝
UV-Visible spectroscopy
전극용 진공증착기 (E-beam 2)
Raman Spectroscopy
X선회절분석기 (XRD)
Magnetron Sputter
Spin Coater
전자빔 진공증착시스템 (E-beam 1) 17-09-1109:00~22:00이성재 17-09-1209:00~22:00이성재 17-09-1314:00~21:00이병우 17-09-1409:00~13:00안진용17-09-1415:00~21:00정다운 17-09-1514:00~20:00이성재
GaN 유기금속화학증착시스템(MOCVD)
질화물 식각장치 (ICP-RIE)
플라즈마화학기상증착시스템(PECVD)
Thermal Evaporator 1 (2F)
ALD (원자층 증착장비) 17-09-1010:00~12:00Tatiana 17-09-1113:00~23:00Sinha 17-09-1323:00~09:00Sinha 17-09-1409:00~23:00ZAFAR 17-09-1523:00~22:00ZAFAR
산화물 전용 스퍼터 (Oxide Sputtering System)
Thermal Evaporator 2 (B1 clean room) 17-09-1215:00~17:00Rohit 17-09-1320:00~22:00Rohit
Solar simulator