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사용신청현황

  • 1
  • 2017-09-17 ~ 2017-09-23
  • 2
날짜 17-09-17 17-09-18 17-09-19 17-09-20 17-09-21 17-09-22 17-09-23
보급형 실습용 SEM (SEM)
알파스텝
UV-Visible spectroscopy
전극용 진공증착기 (E-beam 2)
Raman Spectroscopy
X선회절분석기 (XRD)
Magnetron Sputter
Spin Coater
전자빔 진공증착시스템 (E-beam 1) 17-09-1814:00~20:00이성재 17-09-2014:00~18:00박준성
GaN 유기금속화학증착시스템(MOCVD)
질화물 식각장치 (ICP-RIE)
플라즈마화학기상증착시스템(PECVD)
Thermal Evaporator 1 (2F)
ALD (원자층 증착장비) 17-09-1810:00~16:00신형호
산화물 전용 스퍼터 (Oxide Sputtering System)
Thermal Evaporator 2 (B1 clean room)
Solar simulator