공동장비

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공동장비사용신청

주이동
날짜 17-06-25 17-06-26 17-06-27 17-06-28 17-06-29 17-06-30 17-07-01
보급형 실습용 SEM (SEM)
알파스텝
UV-Visible spectroscopy
전극용 진공증착기 (E-beam 2)
Raman Spectroscopy
X선회절분석기 (XRD)
Magnetron Sputter
전자빔 진공증착시스템 (E-beam 1)
10:00~18:00
신경록
GaN 유기금속화학증착시스템(MOCVD)
질화물 식각장치 (ICP-RIE)
플라즈마화학기상증착시스템(PECVD)
Thermal Evaporator 1 (2F)
ALD (원자층 증착장비)
09:00~
ZAFAR

09:00 ~ 18:00
ZAFAR

09:00 ~ 18:00
ZAFAR

09:00 ~ 18:00
ZAFAR

~ 18:00
ZAFAR
산화물 전용 스퍼터 (Oxide Sputtering System)
09:00~18:00
신경록

09:00~21:00
Johar
Thermal Evaporator 2 (B1 clean room)
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